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Title: ミストを利用した薄膜作製技術「ミストCVD法」の開発と「a-IGZO/AlOx 構造を有する酸化物 TFTの大気圧形成」
Authors: 川原村, 敏幸
王, 大鵬
古田, 守
Issue Date: 31-Jul-2012
Publisher: 高知工科大学
Journal Title: 高知工科大学紀要
Volume: 9
Issue: 1
Start Page: 37
End Page: 53
Type: Departmental Bulletin Paper
URI: http://hdl.handle.net/10173/907
Appears in Collections:古田, 守 (FURUTA, Mamoru)
川原村, 敏幸 (KAWAHARAMURA, Toshiyuki)
王, 大鵬 (WANG, Dapeng)
第09巻

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